홀드·진행 보류

평소의 정상 공정 상태나 허용된 공정 윈도우에서 벗어나 제품 위험을 만들 수 있는 비정상적인 공정 사건.

생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 웨이퍼 묶음.

열에 의해 원자나 도펀트가 물질 내부로 이동하도록 하는 열 공정. 이온주입 뒤 도펀트 활성화나 분포 조절과 연결될 수 있다.

장비와 공정에서 수집한 상세 데이터를 이용해 비정상 상태를 빠르게 감지하고, 이상 유형을 분류하는 공정 제어 기능.

생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 웨이퍼 묶음.

평소의 정상 공정 상태나 허용된 공정 윈도우에서 벗어나 제품 위험을 만들 수 있는 비정상적인 공정 사건.

문제가 있지만 복구 가능하다고 판단된 재료나 제품에 추가 작업을 수행해 다시 허용 상태로 되돌리는 것.

품질·손상·공정 문제 등으로 더 이상 정상 제품으로 회복하거나 사용하는 것이 적절하지 않아 생산 흐름에서 제거하는 재료 또는 그 처분.

문제가 있지만 복구 가능하다고 판단된 재료나 제품에 추가 작업을 수행해 다시 허용 상태로 되돌리는 것.