공정 이상 이탈

생산·추적·공정 관리를 위해 하나의 단위로 묶어 취급하는 웨이퍼 묶음.

문제가 있지만 복구 가능하다고 판단된 재료나 제품에 추가 작업을 수행해 다시 허용 상태로 되돌리는 것.

여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.

패턴·막·전기특성 등에서 정상 기대상태와 달라 제품 성능이나 수율에 악영향을 줄 수 있는 이상.

관리도에서 공정이 기존의 통계적 관리 상태에서 벗어났음을 시사하는 신호가 발생한 상태.

장비와 공정에서 수집한 상세 데이터를 이용해 비정상 상태를 빠르게 감지하고, 이상 유형을 분류하는 공정 제어 기능.

이상 가능성이 있거나 추가 판단이 필요한 웨이퍼 로트/재료가 다음 공정으로 진행하지 못하도록 일시적으로 멈추는 조치.

문제가 있지만 복구 가능하다고 판단된 재료나 제품에 추가 작업을 수행해 다시 허용 상태로 되돌리는 것.

관리도에서 공정이 기존의 통계적 관리 상태에서 벗어났음을 시사하는 신호가 발생한 상태.