용어검색/반도체측정 편향Measurement bias팩별 설명반도체 수율·불량 L1반도체 테스트 L1반도체 계측·검사 L1반도체 공정 L2반도체 장비 L2반도체 수율·불량 L2반도체 테스트 L2반도체 클린룸·오염관리 L2Fab 자동화·MES L2측정 편향은 측정 결과의 평균이 기준값과 체계적으로 차이 나는 성분이다.정의 복사관련 학습 ↓설명기준시편·모델·검출 경계·표면 상태 등이 영향을 줄 수 있다. 반복 측정만 많이 해도 같은 편향은 사라지지 않는다.예시교정 후 모든 웨이퍼가 같은 방향으로 이동했다면 공정 변화 전에 측정 기준 변경을 확인한다.구분정밀한 반복과 기준에 대한 정확함을 구분한다.함께 배우는 용어열산화↗열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.임계 치수↗임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.반사 방지막↗반사 방지막은 기판 반사로 인한 광학 간섭과 패턴 왜곡을 줄이기 위해 사용하는 층이다.이전 용어← 반복성다음 용어측정 불확도 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개