측정 시스템 분석
Measurement system analysis
MSA
측정 시스템 분석은 측정기·방법·시료·작업 조건이 결과 변동에 얼마나 기여하는지 평가하는 과정이다.
설명
관측 차이는 공정 변동과 계측 변동이 합쳐진 결과다. 장비 센서를 교체한 뒤 표시값이 이동했다면 실제 물리량 변화와 측정계 변화가 모두 후보가 된다.
예시
작은 챔버 차이를 평가할 때 측정 분해능만 확인하지 않는다. 반복 측정, 시료 재장착, 장비 간 차이, 시간에 따른 드리프트를 목적에 맞게 평가한다.
구분
측정계가 비교 목적에 적합해야 공정 진단의 출발점이 성립한다.