공정 냉각수
Process cooling water
PCW
공정 냉각수는 장비와 부품에서 발생한 열을 외부로 운반하는 유틸리티다.
설명
공급 온도뿐 아니라 유량·압력차·오염·열교환 상태가 실제 냉각 성능을 바꾼다. 여러 장비가 같은 공급 경로를 공유하면 동시에 영향을 받을 수 있다.
예시
척 온도 변화가 여러 챔버에서 같은 시각에 생기면 각 챔버를 따로 보정하기 전에 공통 냉각 경로를 확인한다.
구분
설비 공급값과 장비가 실제로 빼낸 열량을 연결한다.