금속 게이트 일함수
Metal gate work function
금속 게이트 일함수는 전극의 전자 에너지 기준과 관련되며 문턱전압 설정에 영향을 주는 재료 특성이다.
설명
실제 적층에서는 계면 반응·조성·두께·열 이력 등이 유효 일함수와 전압 이동에 영향을 준다. 금속 이름만으로 최종 문턱전압을 정할 수 없다.
예시
같은 전극 재료에서 열처리 뒤 문턱전압이 움직이면 계면과 전하 변화도 분리해 확인한다.
구분
재료 명칭과 실제 적층의 유효 특성을 구분한다.