직렬 계면층
Series interfacial layer
직렬 계면층은 주 절연막과 채널 사이에서 전기적으로 직렬 용량에 기여하는 층이다.
설명
단위 면적당 용량의 역수는 직렬로 더해지므로 낮은 유전율의 얇은 계면층도 전체 에 크게 기여할 수 있다.
예시
고유전율막 0.975 nm에 SiO₂ 계면층 0.5 nm가 있으면 이상적 총 EOT는 1.475 nm다.
구분
주막만 얇게 하여 해결하기 전에 계면층의 역할과 품질을 확인한다.
Series interfacial layer
직렬 계면층은 주 절연막과 채널 사이에서 전기적으로 직렬 용량에 기여하는 층이다.
단위 면적당 용량의 역수는 직렬로 더해지므로 낮은 유전율의 얇은 계면층도 전체 에 크게 기여할 수 있다.
고유전율막 0.975 nm에 SiO₂ 계면층 0.5 nm가 있으면 이상적 총 EOT는 1.475 nm다.
주막만 얇게 하여 해결하기 전에 계면층의 역할과 품질을 확인한다.