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마이크로로딩

Microloading

팩별 설명

마이크로로딩은 주변의 국부 패턴 밀도나 노출 면적 차이에 따라 식각 결과가 달라지는 현상이다.

설명

반응물 소모·생성물 축적·표면 상태가 밀도에 따라 달라진다. 같은 폭에서도 밀집 영역과 고립 영역의 결과가 달라질 수 있다.

폭은 같지만 밀집 패턴만 깊이가 다르면 만 아니라 주변 노출 면적도 분리 변수로 둔다.

종횡비

종횡비는 구조의 깊이나 높이를 대표 폭으로 나눈 비다.

와 마이크로로딩은 관련될 수 있지만 동일한 현상이 아니다.

ARDE

종횡비 의존 식각인 ARDE는 구조의 깊이 대비 폭에 따라 식각 속도나 형상이 달라지는 현상이다.

종횡비는 구조의 깊이나 높이를 대표 폭으로 나눈 비다.

종횡비 의존 식각인 ARDE는 구조의 깊이 대비 폭에 따라 식각 속도나 형상이 달라지는 현상이다.

화학 기상 증착인 CVD는 기체 전구체의 반응으로 기판에 고체막을 형성하는 방법이다.