종횡비 의존 식각
Aspect-ratio-dependent etching
ARDE
종횡비 의존 식각인 ARDE는 구조의 깊이 대비 폭에 따라 식각 속도나 형상이 달라지는 현상이다.
설명
반응종 수송·이온 입사·충전·생성물 배출이 영향을 준다. 흔히 좁고 깊은 구조가 느려지지만 방향과 크기는 조건에 따라 달라진다.
예시
넓은 구멍은 열리고 좁은 구멍만 남으면 각 구조의 깊이 이력을 분리해 비교한다.
구분
모든 위치의 평균 속도로 가장 좁은 구조의 완료를 추정하지 않는다.