모델 의존 계측
Model-dependent metrology
모델 의존 계측은 직접 관측한 신호를 재료·구조 모델로 해석해 관심 물성을 추정하는 방식이다.
설명
광학 두께 측정은 굴절률·흡수·층 구조 가정의 영향을 받을 수 있다. 실제 막질이 달라졌는데 모델을 고정하면 두께 변화처럼 해석될 여지가 있다.
예시
두께와 저항이 함께 바뀌었을 때 광학 모델을 다른 독립 방법과 대조하면 두께·조성 가설을 더 잘 나눌 수 있다. 서로 다른 방법도 각자의 를 가진다.
구분
출력 항목 이름이 두께여도 신호에서 두께로 가는 가정을 확인한다.