다중 존 온도 제어
Multi-zone temperature control
다중 존 온도 제어는 히터나 척의 영역별 열 공급·제거를 나누어 온도 분포를 조정하는 방식이다.
설명
중앙과 가장자리의 열손실 차이를 보상할 수 있지만 한 영역의 변경이 이웃 영역에 영향을 줄 수 있다. 각 존은 완전히 독립된 섬이 아니다.
예시
평균 온도가 같아도 가장자리 존 상태가 바뀌면 면내 결과가 달라질 수 있다. 존별 값과 위치별 결과를 함께 비교한다.
구분
전체 평균과 영역별 균형을 동시에 관리한다.