OCD
Optical critical dimension metrology
OCD는 패턴이 만드는 광학 응답을 모델과 비교하여 선폭·높이· 같은 형상 매개변수를 추정하는 계측이다.
설명
대개 규칙적인 패턴에서 ·각도·편광별 신호를 측정한다. 광학 영상으로 선폭을 직접 재는 방식과는 값이 만들어지는 경로가 다르다.
예시
패턴 높이가 바뀌면 스펙트럼도 변하지만 폭과 재료 상수도 함께 신호를 바꿀 수 있다. 어느 변수를 추정할지 먼저 모델로 정한다.
구분
OCD는 구조가 만든 빛의 응답에서 형상을 추정한다.