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측벽 각도

Sidewall angle

측벽 각도는 패턴의 옆면이 기준 면과 이루는 각도로, 단면의 기울기를 표현한다.

설명

기준을 기판 면으로 잡는지 수직 방향으로 잡는지에 따라 숫자가 달라지므로 정의를 명시한다. 폭 하나와 달리 높이에 따른 형상 변화를 나타낸다.

기판 면 기준 90°는 수직 측벽을 뜻한다. 다른 보고서의 각도와 비교할 때 기준 면과 부호를 먼저 맞춘다.

측벽 각도에는 기준 면과 단면 모델을 함께 기록한다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.