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건식과 습식 산화

Dry and wet oxidation

건식 산화는 주로 산소를, 습식 산화는 수증기를 산화제로 사용하는 방식이다.

열산화

열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.

설명

일반적인 실리콘 산화 조건에서 습식은 더 빠른 성장을 얻기 쉽다. 선택은 성장 속도뿐 아니라 필요한 막과 계면 특성·열 이력에 좌우된다.

생산시간만 줄이려고 절연 특성이 중요한 막의 분위기를 바꾸면 전기적 검증을 새로 해야 한다.

빠른 성장과 적합한 절연막은 서로 다른 합격 항목이다.

열산화는 높은 온도에서 산화제가 실리콘과 반응하여 산화막을 성장시키는 공정이다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.