포토리소그래피
Photolithography
빛과 photomask/, 포토레지스트를 이용해 설계된 회로 을 표면에 전사하는 공정.
설명
포토는 을 직접 깊게 깎는 공정이 아니라 이후 등의 기준이 되는 레지스트 패턴을 만드는 단계라는 점이 중요하다.
예시
을 바른 에 을 하고 해 미세 패턴을 만든다. 관련 용어: 포토레지스트(PR) / 노광 / 현상 /
구분
포토리소그래피는 전사이고 은 전사된 패턴을 이용해 아래 막을 실제로 제거한다.
Photolithography
빛과 photomask/, 포토레지스트를 이용해 설계된 회로 을 표면에 전사하는 공정.
포토는 을 직접 깊게 깎는 공정이 아니라 이후 등의 기준이 되는 레지스트 패턴을 만드는 단계라는 점이 중요하다.
을 바른 에 을 하고 해 미세 패턴을 만든다. 관련 용어: 포토레지스트(PR) / 노광 / 현상 /
포토리소그래피는 전사이고 은 전사된 패턴을 이용해 아래 막을 실제로 제거한다.