용어검색/반도체피치Pitch피치는 반복 패턴에서 같은 특징의 중심 사이가 반복되는 거리이다.정의 복사관련 학습 ↓설명선폭과 선 사이 간격을 더한 주기가 피치가 되는 단순 선격자가 있다. 피치가 같아도 선폭과 간격의 분배는 달라질 수 있다.예시교육용 선폭 40 nm·간격 60 nm와 선폭 50 nm·간격 50 nm는 둘 다 피치 100 nm이다. 주기 일치가 선폭 일치를 의미하지 않는다.구분피치는 반복 간격이며 폭 자체와 구분한다.함께 배우는 용어임계치수↗임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.오버레이↗오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.측정량↗측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.이전 용어← 측벽 각도다음 용어매개변수 상관 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개