폴리싱 패드
Polishing pad
폴리싱 패드는 와 상대 운동하며 를 전달하고 기계적 접촉을 만드는 연마 부품이다.
설명
표면 조직, 홈과 사용 이력이 접촉· 분포에 영향을 준다. 새 패드와 오래 쓴 패드는 같은 압력에서도 같은 결과를 보장하지 않는다.
예시
제거율이 사용 시간에 따라 변하면 패드 표면 상태와 관리 이력을 확인한다. 압력 조정만으로 변화를 계속 보상하면 원인을 놓칠 수 있다.
구분
패드 표면은 소모되며 지속적으로 변하는 공정 조건이다.