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사이클당 식각량

Etch per cycle

EPC

사이클당 식각량인 EPC는 정한 조건에서 한 사이클에 제거되는 평균 두께다.

ALE

원자층 식각인 ALE는 표면 개질과 제거 단계를 나누어 제한된 양의 재료를 반복적으로 제거하는 접근이다.

설명

안정 구간에서는 제거량을 EPC와 사이클 수의 곱으로 근사할 수 있다. 초기 표면과 반복 후 잔류물 때문에 선형성이 달라질 수 있다.

가상 안정 EPC 0.05 nm에 40사이클이면 약 2 nm를 제거한다. 국부 형상과 초기 이력은 별도로 검증한다.

작은 EPC만으로 무손상이나 높은 선택성을 보증하지 않는다.

원자층 식각인 ALE는 표면 개질과 제거 단계를 나누어 제한된 양의 재료를 반복적으로 제거하는 접근이다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

파티클 오염은 표면에 부착한 미세 입자가 패턴이나 막 형성을 방해하는 상태다.