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표면 손상층

Surface damage layer

표면 손상층은 가공으로 결함·조성 변화·구조 변화가 생겨 원래와 다른 성질을 가진 표면 근처 영역이다.

설명

겉보기 제거량이 작아도 전기적 특성이 달라질 수 있다. 후처리로 손상을 줄일 때 추가 재료 손실이나 열 이력도 고려한다.

와 두께가 합격인데 누설이 증가하면 표면 손상과 잔류 화학종을 후보에 넣는다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

형상 보존과 기능 보존을 별도로 확인한다.

임계 치수인 CD는 소자의 기능이나 제조 허용 범위를 결정하는 중요한 패턴 치수다.

표면 준비는 후속 증착·접합·반응이 재현되도록 오염과 표면 화학상태를 조정하는 과정이다.

파티클 오염은 표면에 부착한 미세 입자가 패턴이나 막 형성을 방해하는 상태다.