샤워헤드와 간격
Showerhead and gap
샤워헤드
샤워헤드는 다수의 분출구로 가스를 분배하는 부품이며, 기판과의 간격은 유동·혼합·전달에 영향을 준다.
설명
구멍 오염이나 조립 간격 변화는 국부 공급을 바꿀 수 있다. 간격 변화는 플라즈마 공정에서 전기장과 방전 상태에도 영향을 줄 수 있다.
예시
정비 후 동심원 또는 특정 방향 두께 변화가 생기면 샤워헤드·열분포·계측을 함께 검토한다. 모든 공간 패턴을 한 부품에 고정 연결하지 않는다.
구분
기하학적 변경은 가스와 열, 때로는 전기적 경계를 함께 바꾼다.