용어검색/반도체압력 제어Pressure control압력 제어는 가스 유입과 배기 등의 균형을 조절하여 챔버 압력을 목표 범위로 유지하는 기능이다.정의 복사관련 학습 ↓설명같은 압력도 유량·배기 속도 조합에 따라 체류시간과 반응물 분포가 다를 수 있다. 압력 한 값이 전체 가스 상태를 대표하지 않는다.예시압력은 정상인데 스로틀 밸브 위치가 계속 바뀌면 배기 또는 유입 변화의 증거가 될 수 있다.구분제어된 출력과 제어기의 보상 동작을 함께 본다.함께 배우는 용어포물선 성장 구간↗포물선 성장 구간은 산화제의 막 내부 이동이 중요해져 산화막 두께의 제곱이 시간에 거의 비례하는 근사 구간이다.플라즈마↗플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.정밀 식각의 생산성↗정밀 식각의 생산성은 요구 형상·손상·선택성을 만족하며 얻는 유효 처리량이다.이전 용어← 질량 유량 제어기다음 용어RF 정합 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개