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RF 정합

Radio-frequency matching

RF 정합은 고주파 전력이 부하에 전달되도록 전기적 임피던스 조건을 조절하는 것이다.

설명

와 장비 상태가 바뀌면 반사 전력이나 정합 위치가 변할 수 있다. 정합 성공 자체가 동일한 플라즈마 화학을 뜻하지 않는다.

플라즈마

플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.

전달 전력이 비슷해도 정합 위치·전압·전류의 경향이 다르면 상태 변화를 확인한다.

전력 숫자 하나보다 관련 신호의 조합을 해석한다.

플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.

포물선 성장 구간은 산화제의 막 내부 이동이 중요해져 산화막 두께의 제곱이 시간에 거의 비례하는 근사 구간이다.

정밀 식각의 생산성은 요구 형상·손상·선택성을 만족하며 얻는 유효 처리량이다.