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예방정비

Preventive maintenance

팩별 설명

예방정비는 고장이나 성능 저하를 줄이기 위해 정해진 시간· 등의 기준으로 미리 수행하는 정비다.

처리량

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.

설명

부품 교체·세정·검사를 계획해 돌발 중단을 줄일 수 있다. 너무 잦은 정비는 중단 시간과 재조립 변동을 늘릴 수 있어 기준의 적합성을 확인한다.

고장이 적다는 이유만으로 예방정비가 불필요하다고 단정하지 않는다. 현재 성능이 정비 체계의 효과일 수도 있다.

예방정비의 가치는 작업 횟수보다 위험 감소와 안정 운전으로 평가한다.

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 웨이퍼 등의 수량이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.

반복성은 같은 방법과 조건으로 짧은 기간에 반복했을 때 결과가 서로 가까운 정도다.