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처리량

Throughput

팩별 설명

처리량은 정해진 시간 동안 장비가 처리한 등의 수량이다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

설명

반응 시간뿐 아니라 이송·배기·안정화·세정 시간이 영향을 준다. 공정 조건과 운전 구간이 다른 수치는 그대로 비교하기 어렵다.

가상 장비가 1시간에 40장을 처리해도 4장에 재작업이 필요하면 단순 처리 장수와 유효 생산 기여가 다르다. 양품과 재작업을 별도로 확인한다.

빠르게 움직이는 장비보다 요구 품질로 지속 처리하는 장비가 중요하다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

반도체 공정 장비는 웨이퍼에 재료를 더하거나 제거하고 성질을 바꾸도록 정해진 환경과 동작을 만드는 시스템이다.

레시피는 장비가 공정을 수행하도록 단계별 설정값·시간·전환 조건을 묶어 둔 작업 조건 집합이다.