용어검색/반도체예방 보전Preventive maintenancePM팩별 설명반도체 용어 L1반도체 장비 L1Fab 자동화·MES L1반도체 공정 L2반도체 장비 L2반도체 클린룸·오염관리 L2Fab 자동화·MES L2반도체 클린룸·오염관리 L1예방 보전인 PM은 고장과 성능 저하를 줄이기 위해 계획적으로 장비를 점검·세정·교체하는 활동이다.정의 복사관련 학습 ↓설명보전은 상태를 바꾸는 사건이므로 그 뒤 결과가 곧바로 이전과 같다고 가정하지 않는다. 부품·교정·조립·안정화 이력을 확인해야 한다.예시PM 뒤 평균은 같아도 가장자리 분포가 바뀌면 공간 균일도와 관련 설정을 조사한다.구분보전 완료와 공정 적합성 확인을 구분한다.함께 배우는 용어포물선 성장 구간↗포물선 성장 구간은 산화제의 막 내부 이동이 중요해져 산화막 두께의 제곱이 시간에 거의 비례하는 근사 구간이다.플라즈마↗플라즈마는 전자·이온과 중성 입자가 함께 존재하는 이온화된 기체 상태다.정밀 식각의 생산성↗정밀 식각의 생산성은 요구 형상·손상·선택성을 만족하며 얻는 유효 처리량이다.이전 용어← RF 정합다음 용어챔버 시즈닝 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개