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PCW

Process Cooling Water

공정 냉각수

팩별 설명

PCW는 장비의 열을 제거하는 데 쓰는 공정 냉각수 계통을 가리키는 현장 용어다.

설명

팹별 명칭과 요구 수질은 다를 수 있으며 에 직접 접촉하는 와 목적이 다르다. 공급·복귀 온도 차와 흐름이 열 제거 능력에 연결된다.

웨이퍼

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

초순수

초순수는 이온·유기물·입자 등 공정에 영향을 주는 불순물을 매우 낮게 관리한 물이다.

공급 온도만 정상이고 유량이 부족하면 필요한 냉각을 못 할 수 있다. 수온과 유량을 함께 확인한다.

냉각수는 재료 세정용 물과 구분하여 요구 품질·연결을 관리한다.

웨이퍼는 반도체 소자를 만드는 기판이다.

초순수는 이온·유기물·입자 등 공정에 영향을 주는 불순물을 매우 낮게 관리한 물이다.

진공은 기체 압력이 주변 대기압보다 낮은 상태다.