벽 반응과 재결합
Wall reactions and recombination
벽 반응은 기체·활성종이 챔버 표면과 반응하거나 재결합해 조성이 달라지는 현상이다.
설명
벽 재료·코팅·온도·오염은 라디칼의 소모와 부산물 형성에 영향을 준다. 같은 가스 유량과 에서도 벽 상태가 다르면 웨이퍼 도달 성분이 달라질 수 있다.
예시
전후 조성·발광·공정률 변화는 벽 경계조건 변화와 연결해 본다. 벽은 단순 용기가 아니라 화학 반응 경로다.
구분
가스 공급뿐 아니라 벽에서 사라지거나 생기는 성분을 고려한다.