퀄리피케이션·적격성 검증

전기전도도가 도체와 절연체의 중간 정도인 물질. 산업 문맥에서는 이런 물질로 만든 IC와 관련 기술·산업까지 넓게 가리키기도 한다.

포토레지스트나 하드마스크로 보호되지 않은 영역의 재료를 선택적으로 제거해 웨이퍼에 실제 3차원 패턴을 만드는 공정.

반도체 패턴에서 성능과 공정 허용오차에 중요해 관리되는 선폭·간격 같은 핵심 치수.

패턴·막·전기특성 등에서 정상 기대상태와 달라 제품 성능이나 수율에 악영향을 줄 수 있는 이상.

측정기나 측정시스템이 나타내는 값과 알려진 기준 표준 값 사이의 관계를 정해 측정 편향과 추적성을 관리하는 활동.

새 조건이나 변경 결과를 비교하기 위해 현재 승인된 정상 공정, 장비 설정 또는 측정 성능을 기준 상태로 정의한 것.

새 반도체 제품을 설계/테스트 단계에서 제조 퀄리피케이션, 기술 이송, 초기 생산과 램프업으로 연결하는 제품 도입 전체 과정.

정해진 사용 조건과 기간 동안 제품·소자·장비가 요구 기능을 고장 없이 수행할 가능성과 그 성능을 평가하는 개념.

측정기나 측정시스템이 나타내는 값과 알려진 기준 표준 값 사이의 관계를 정해 측정 편향과 추적성을 관리하는 활동.