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공정 마진

Process margin

공정 마진은 정상적인 변동이 생겨도 실패 경계에 닿지 않도록 확보한 여유다.

설명

평균이 목표에 맞아도 분포 폭이 크면 경계 가까운 제품이 많아진다. 와 장비 드리프트도 여유를 소모한다.

측정 불확도

측정 불확도는 이용 가능한 정보를 바탕으로 측정량에 합리적으로 부여할 수 있는 값들의 퍼짐을 나타낸다.

가상 두 조건의 평균이 같고 한쪽의 웨이퍼 내 편차만 크다면 합격 평균만으로 두 조건을 동등하다고 판정하지 않는다.

중심값과 분포 폭, 경계까지의 거리를 함께 읽는다.

측정 불확도는 이용 가능한 정보를 바탕으로 측정량에 합리적으로 부여할 수 있는 값들의 퍼짐을 나타낸다.

공정 통합은 여러 단위공정의 순서·재료·형상을 조정하여 최종 소자와 배선의 요구특성을 함께 만족시키는 활동이다.

공정 모듈은 특정 구조나 기능을 완성하기 위해 묶어 관리하는 연속 공정의 단위다.