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반사율 계측

Reflectometry

반사율 계측은 입사광에 대한 반사광의 세기를 측정하고 파장별 응답 등을 해석하는 방법이다.

설명

위아래 경계에서 나온 빛의 간섭이 두께 정보를 제공할 수 있다. 신호에는 재료의 광학상수와 표면 상태도 영향을 준다.

박막

박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.

같은 두께라도 재료가 달라지면 반사 스펙트럼이 달라질 수 있다. 색 변화만 보고 두께가 증가했다고 단정하지 않는다.

반사율을 두께로 바꾸려면 층 구조와 광학상수가 필요하다.

박막은 기판 위에 형성한 얇은 재료층으로, 절연·전도·보호 등 필요한 기능을 맡는다.

오버레이는 서로 다른 공정 층의 패턴이 설계상 위치 관계에서 얼마나 어긋났는지를 나타내는 상대 위치 차이다.

수율은 정의한 평가 대상 중 정해진 합격 기준을 만족하는 대상의 비율이다.