응답시간과 지연
Response time and transport delay
응답시간은 유량이 변경에 따라 정착하는 데 걸리는 시간이고, 전달 지연은 그 변화가 하류에 도착하기까지의 시간이다.
설명
센서가 빠르게 반응해도 긴 배관과 데드 볼륨은 챔버 도달을 늦춘다. 펄스 공정에서는 이 지연이 실제 노출 구간과 다음 퍼지 구간을 겹치게 할 수 있다.
예시
센서에서 0.1 s 만에 정상값이 됐다는 자료만으로 웨이퍼도 같은 시간부터 노출됐다고 보지 않는다. 가능하면 하류 압력·농도 응답을 함께 확인한다.
구분
제어기 응답과 물질 전달은 서로 다른 시간 척도다.