선택적 성장
Selective growth
선택적 성장은 서로 다른 표면에서 성장 반응 차이를 이용해 원하는 영역에 막을 더 잘 형성하는 방법이다.
설명
성장과 원치 않는 핵생성·제거의 균형으로 선택성이 유지된다. 온도·노출·표면 오염이 바뀌면 비성장 영역에 핵이 생겨 선택성이 무너질 수 있다.
예시
선택성은 영구적인 재료 속성 하나가 아니라 조건과 성장량에 따른 성능이다. 원하는 영역의 성장률과 비성장 영역의 결함을 같이 본다.
구분
선택적 성장은 좋은 곳의 성장과 나쁜 곳의 억제를 동시에 관리한다.