에피택시
Epitaxy
에피
에피택시는 기판 결정의 방향 관계를 이어받아 결정질 막을 성장시키는 공정이다.
설명
막두께뿐 아니라 표면 청정도·격자 부정합·온도·가스 조건이 결함과 결정성에 영향을 준다. 일반 증착에서 허용된 표면 상태가 에피에는 불충분할 수 있다.
예시
성장률이 맞아도 결함 밀도나 전기적 특성이 달라지면 성장 전 표면 준비와 이송 이력을 확인한다. 두께 규격 통과만으로 결정 품질을 판정하지 않는다.
구분
에피 장비는 물질 공급과 결정 질서의 형성을 함께 제어한다.