실리콘 소모
Silicon consumption
실리콘 소모는 중 실리콘이 산화막으로 바뀌어 원래 기판 일부가 줄어드는 현상이다.
설명
평탄한 막에서 밀도를 실리콘 2.33 g/cm³, SiO₂ 2.20 g/cm³로 가정하면 질량 보존으로 소모 두께 비를 약 0.44로 근사한다. 이는 고정 물성값이나 모든 구조의 정밀 치수식이 아니다.
예시
가상 100 nm 열산화막과 소모 비 0.44를 가정하면 실리콘 소모는 약 44 nm, 원래 표면 위 상승분은 약 56 nm다. 밀도·응력·형상이 다르면 적용을 다시 검토한다.
구분
미세 구조 치수 설계에서는 성장 두께와 기판 소모를 함께 계산한다.