SIMS와 전기 측정
SIMS and electrical measurement
SIMS
SIMS는 표면에서 방출된 이차 이온을 분석해 원소의 깊이 분포를 조사하는 방법이다.
설명
원소 농도를 보는 측정과 전기적으로 유효한 운반자·저항을 보는 측정은 질문이 다르다. SIMS의 매트릭스 효과·깊이 보정도 고려해야 한다.
예시
SIMS 프로파일이 같고 저항이 다르면 오류 하나로 단정하지 않고 활성화와 결함 상태를 조사한다.
구분
화학적 증거와 전기적 증거를 연결하되 서로 대신하지 않는다.