도펀트 활성화
Dopant activation
도펀트 활성화는 도펀트가 전기적으로 유효한 상태를 차지하여 전하 운반자에 기여하도록 하는 과정이다.
설명
총 원소 농도 중 전기적으로 유효한 비율은 결함·군집·열 이력에 따라 달라진다. 열처리는 손상 회복과 활성화를 돕지만 확산도 일으킬 수 있다.
예시
원소 분석 농도는 같은데 이 높다면 활성화·이동도·막 두께 등을 구분해 확인한다.
구분
화학 농도 측정만으로 활성화율을 확정하지 않는다.
Dopant activation
도펀트 활성화는 도펀트가 전기적으로 유효한 상태를 차지하여 전하 운반자에 기여하도록 하는 과정이다.
총 원소 농도 중 전기적으로 유효한 비율은 결함·군집·열 이력에 따라 달라진다. 열처리는 손상 회복과 활성화를 돕지만 확산도 일으킬 수 있다.
원소 분석 농도는 같은데 이 높다면 활성화·이동도·막 두께 등을 구분해 확인한다.
화학 농도 측정만으로 활성화율을 확정하지 않는다.