슬러리 전달
Slurry transport
슬러리
슬러리 전달은 연마 입자와 반응 성분을 접촉 영역에 공급하고 부산물을 배출하는 과정이다.
설명
벌크 공급량이 충분해도 패드 홈·접촉·회전 조건에 따라 국부 부족이나 체류가 생길 수 있다. 입자 응집과 필터 상태도 스크래치에 연결된다.
예시
유량을 늘렸을 때 제거율이 좋아져도 균일도나 액체 손실이 달라질 수 있다. 공급원 품질과 접촉면 전달을 나누어 본다.
구분
투입량과 실제 연마 접점의 화학 상태는 같지 않다.