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헤드 구역 압력

Carrier-head zone pressure

헤드 구역 압력은 웨이퍼 뒷면의 여러 영역에 압력을 나누어 제거 분포를 조절하는 방식이다.

설명

막·패드·리테이닝 링의 기계적 결합 때문에 한 구역 조정이 다른 영역에 영향을 줄 수 있다. 가장자리 거동은 링 높이와 패드 변형에도 민감하다.

중심만 얇거나 가장자리만 두꺼운 맵을 구역 압력으로 보정하기 전에 하드웨어 상태와 맵 재현성을 확인한다.

구역 조절로 물리 결함을 숨기지 말고 공간 를 이용한다.

민감도

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

진공 컨덕턴스 C는 두 지점의 압력 차이에 대해 가스가 얼마나 쉽게 흐르는지를 나타내는 값이다.

열전대는 서로 다른 금속 접합의 열기전력으로 온도를 측정하며, 접촉·열용량 때문에 측정 대상과 차이가 생길 수 있다.