용어검색/반도체응력 유도 보이드Stress-induced voiding응력 유도 보이드는 재료 내부의 응력 차이와 원자 이동 등으로 빈 공간이 형성되는 현상이다.정의 복사관련 학습 ↓설명전류에 의한 원자 이동과 달리 열·기계 이력과 구속 조건이 주요 배경일 수 있다. 비슷한 보이드 모양만으로 EM이라고 확정하면 안 된다.EM일렉트로마이그레이션인 EM은 도전체의 전류 흐름과 관련된 힘에 의해 원자가 이동하고 재료가 재분포하는 현상이다.용어 상세 ↗예시무전류 열 저장에서도 보이드가 생기면 전류 외의 응력 경로를 조사한다.구분고장 모양과 고장 메커니즘을 구분한다.함께 배우는 용어일렉트로마이그레이션↗일렉트로마이그레이션인 EM은 도전체의 전류 흐름과 관련된 힘에 의해 원자가 이동하고 재료가 재분포하는 현상이다.초점 심도↗초점 심도는 원하는 패턴 품질을 유지할 수 있는 초점 위치의 허용 범위다.어닐링↗어닐링은 가열과 냉각 이력을 통해 결함·활성화·응력·상태 등을 조절하는 열처리다.이전 용어← 바이어스 온도 불안정성다음 용어가속 시험 →반도체 기술지도전체 지도 ↗L0 큰 그림L1 분야 이해L2 깊은 탐구✦ BESTL0반도체 시작10무료학습 10개✦ BESTL1반도체 용어오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 공정오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 장비오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 패키징·HBM오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 수율·불량오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 테스트오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 계측·검사오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소재오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 소자오픈 30% · 27,300원학습 30개L1반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L2반도체 클린룸·오염관리오픈 30% · 27,300원학습 30개L1Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개L2Fab 자동화·MES오픈 30% · 27,300원학습 30개