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표면 반응 제한

Surface-reaction-limited regime

반응 제한

표면 반응 제한은 반응물이 충분히 도달해도 표면 반응이 느려 성장률을 제한하는 상태다.

설명

일정 범위에서는 온도 변화가 반응 속도에 큰 영향을 줄 수 있다. 공급량을 더 늘려도 표면 반응이 병목이면 성장률 개선이 작다.

온도에 민감한 성장률과 공급 변화에 둔감한 응답은 이 영역을 지지하지만 단일 실험으로 확정하지 않는다. 전구체 분해나 탈착이 시작되는 범위를 넘겨 일반화하지 않는다.

반응 제한에서는 전달량보다 표면 반응 조건의 가 중요하다.

민감도

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

조건별 민감도 비교는 입력을 조금 바꿨을 때 두 챔버의 결과 변화 방향과 크기가 비슷한지 확인하는 것이다.

교란 변수는 비교 대상과 함께 바뀌어 원인과 결과의 해석을 섞는 변수다.

고장 메커니즘은 부품이나 공정 기능이 저하되어 이상 결과에 이르는 물리·화학적 과정이다.