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테이퍼

Taper

팩별 설명

테이퍼는 깊이 방향으로 구조의 폭이 점차 좁아지거나 넓어지는 형상이다.

설명

입구와 바닥의 폭이 다른 깊은 구멍에서는 한 위치의 만으로 전체 형상을 설명할 수 없다. 단면의 높이별 치수 정의가 필요하다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

입구 는 같아도 바닥이 좁아지면 충전과 전기 연결이 달라질 수 있다. 문제와 관련된 깊이의 형상을 추가 확인한다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

입구 치수와 내부 폭 변화는 별도의 계측 질문이다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

결함 검사는 표면이나 패턴에서 기준과 다른 이상 후보를 찾아 위치와 특성을 기록하는 활동이다.

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.