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종횡비

Aspect ratio

팩별 설명

종횡비는 여기서 구조의 깊이나 높이를 가로 폭으로 나눈 비율이다.

설명

어떤 폭을 분모로 썼는지에 따라 값이 달라지므로 정의를 명시한다. 깊고 좁은 구조일수록 내부 접근과 신호 해석이 어려워질 수 있다.

교육용 깊이 2 μm와 폭 0.1 μm의 구멍은 깊이/폭 기준 종횡비 20이다. 입구 폭과 바닥 폭 중 어떤 값을 썼는지 함께 적는다.

종횡비는 형상의 상대적 깊이를 나타내며 분모 정의가 필요하다.

결함 검사는 표면이나 패턴에서 기준과 다른 이상 후보를 찾아 위치와 특성을 기록하는 활동이다.

임계치수는 소자의 기능이나 공정 품질에 중요한 패턴의 폭·간격·구멍 지름 같은 치수이며 CD라고 부른다.

측정량은 측정을 통해 값을 알고자 하는 양으로, 대상과 필요한 조건까지 포함해 정의한다.