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전하 중화

Charge neutralization

전하 중화는 이온 조사로 표면에 쌓이는 전하를 줄여 전기적 스트레스와 빔 왜곡을 제한하는 기능이다.

설명

절연층이나 미세 구조에서 국부 전하가 쌓이면 손상·전위 변화가 생길 수 있다. 중화 상태는 전류 계측과 표면 도달 조건에도 영향을 준다.

가 맞아도 전기적 손상이 늘면 중화·구조·후속 회복 조건을 별도로 확인한다. 안전 보호 설정을 임의 해제하지 않는다.

주입 도즈

주입 도즈는 단위 면적에 주입된 이온 수다.

주입량과 전기적 무손상은 다른 검증 항목이다.

주입 도즈는 단위 면적에 주입된 이온 수다.

펌프다운 시간상수는 단순 배기 모델에서 압력 변화의 빠르기를 나타내는 V/Seff 값이다.

실누설은 외부와 이어진 경로를 통한 가스 유입이고, 가상 누설은 내부에 갇힌 가스가 좁은 길을 통해 늦게 방출되는 현상이다.