터치다운
Touchdown
터치다운은 가 웨이퍼의 지정된 패드 집합에 한 번 접촉하는 동작이다.
설명
한 번에 여러 다이를 시험할 수도 있다. 따라서 터치다운 횟수와 시험 다이 수가 항상 같지는 않으며 가장자리에서 참여 가 줄 수 있다.
예시
매 터치다운의 두 번째 위치만 실패하면 동일한 경로를 조사한다. 지도에 반복 무늬가 있다고 무조건 노광 문제로 해석하지 않는다.
구분
공간 패턴을 터치다운과 배열에 겹쳐 본다.
Touchdown
터치다운은 가 웨이퍼의 지정된 패드 집합에 한 번 접촉하는 동작이다.
한 번에 여러 다이를 시험할 수도 있다. 따라서 터치다운 횟수와 시험 다이 수가 항상 같지는 않으며 가장자리에서 참여 가 줄 수 있다.
매 터치다운의 두 번째 위치만 실패하면 동일한 경로를 조사한다. 지도에 반복 무늬가 있다고 무조건 노광 문제로 해석하지 않는다.
공간 패턴을 터치다운과 배열에 겹쳐 본다.