프로브 카드
Probe card
프로브 카드는 웨이퍼 패드와 테스터를 미세 접촉자로 전기적으로 연결하는 인터페이스다.
설명
접촉자 배열, 전류 용량, 신호 특성, 온도에 따른 정렬 안정성이 시험 가능 범위를 결정한다. 카드 상태가 나쁘면 정상 다이도 실패할 수 있다.
예시
특정 접촉자에서 누적 오염이 생기면 해당 핀의 측정만 흔들릴 수 있다. 핀별 실패와 접촉 이력을 함께 본다.
구분
프로브 카드는 관찰 통로이므로 그 상태도 결과와 함께 평가한다.