비아 형성 시점
Via-first, via-middle, via-last
비아 형성 시점은 를 소자와 주요 배선 공정의 어느 단계에 통합하는지를 구분하는 기준이다.
설명
통상 비아 퍼스트는 소자 형성 전, 비아 미들은 소자 형성 후 주요 배선 완성 전, 비아 라스트는 주요 배선 형성 후의 접근을 가리킨다. 실제 단계 경계는 공정 정의를 확인한다.
예시
형성 시점에 따라 허용 온도, 금속 오염 관리, 정렬과 뒷면 접근 조건이 달라진다. 이름 하나로 모든 제조 순서를 단정하지 않는다.
구분
의 형상뿐 아니라 언제 만들었는지가 통합 제약을 바꾼다.