프로버
Wafer prober
프로버는 웨이퍼를 정렬·이동시켜 와 정해진 다이 패드를 접촉시키는 장비다.
설명
좌표 이동과 높이·온도 조건을 제어하고 시험 결과를 다이 위치에 연결한다. 전기적 측정은 연결된 테스터와 역할을 나눈다.
예시
프로버 정렬이 어긋나면 여러 패드에서 접촉 불량이 동시에 생길 수 있다. 이 경우 칩 회로보다 위치와 높이를 먼저 확인할 근거가 생긴다.
구분
위치를 맞추는 역할과 전기 특성을 측정하는 역할을 구분한다.
Wafer prober
프로버는 웨이퍼를 정렬·이동시켜 와 정해진 다이 패드를 접촉시키는 장비다.
좌표 이동과 높이·온도 조건을 제어하고 시험 결과를 다이 위치에 연결한다. 전기적 측정은 연결된 테스터와 역할을 나눈다.
프로버 정렬이 어긋나면 여러 패드에서 접촉 불량이 동시에 생길 수 있다. 이 경우 칩 회로보다 위치와 높이를 먼저 확인할 근거가 생긴다.
위치를 맞추는 역할과 전기 특성을 측정하는 역할을 구분한다.