설명
다층 칩은 이전 층 위에 다음 층을 정확히 겹쳐야 하므로 정렬과 가 핵심이다.
서로 다른 리소그래피 층의 패턴이 목표 위치에 얼마나 정확히 겹치는지를 나타내는 오차 지표.
용어 상세 ↗예시
의 정렬 표시를 읽어 이미지가 이전 과 맞도록 스테이지 position을 보정한다.
관련 용어: / 단계
여러 개의 동일한 집적회로를 한꺼번에 제조하기 위한 얇고 둥근 반도체 기판.
용어 상세 ↗노광 장비에서 웨이퍼에 투영할 회로 패턴을 담고 있는 원판으로, 마스크와 같은 계열의 용어.
용어 상세 ↗회로 설계가 웨이퍼 위에 선·공간·구조 형태로 구현된 미세 형상.
용어 상세 ↗서로 다른 리소그래피 층의 패턴이 목표 위치에 얼마나 정확히 겹치는지를 나타내는 오차 지표.
용어 상세 ↗구분
정렬은 전 맞추는 동작이고 는 서로 다른 층이 실제로 얼마나 잘 겹쳤는지 나타내는 결과 오차다.
레티클/마스크의 패턴 정보를 빛으로 포토레지스트에 선택적으로 전달해 레지스트의 화학적 상태를 바꾸는 단계.
용어 상세 ↗서로 다른 리소그래피 층의 패턴이 목표 위치에 얼마나 정확히 겹치는지를 나타내는 오차 지표.
용어 상세 ↗