웨이퍼 투 웨이퍼
Wafer-to-wafer bonding
W2WWafer-to-Wafer
웨이퍼 투 웨이퍼는 두 웨이퍼를 정렬하여 한 번에 접합하는 방식이다.
설명
많은 다이 위치를 동시에 접합할 수 있지만 서로 마주보는 다이 배치와 양품 분포의 영향을 받는다. 잘못된 다이 조합을 개별적으로 피하기가 제한적이다.
예시
모든 위치의 다이가 양품인 것처럼 수율을 계산하지 않는다. 겹치는 위치의 다이 상태와 접합 수율을 함께 고려한다.
구분
일괄 접합의 처리량 이점과 다이별 선택 제약을 비교한다.