웨이퍼 간 변동
Wafer-to-Wafer Variation
같은 공정 조건으로 처리한 여러 사이에서 두께, , 같은 결과가 얼마나 달라지는지를 나타내는 변동.
설명
한 만 좋아도 배치 전체가 안정적인 것은 아니므로 웨이퍼 간 일치성을 함께 관리해야 한다.
예시
같은 의 웨이퍼마다 평균값이 달라지는 정도를 비교한다. 관련 용어: / 로트 /
구분
간 변동은 웨이퍼 사이 차이이고 는 한 웨이퍼 내부 위치차다.
Wafer-to-Wafer Variation
같은 공정 조건으로 처리한 여러 사이에서 두께, , 같은 결과가 얼마나 달라지는지를 나타내는 변동.
한 만 좋아도 배치 전체가 안정적인 것은 아니므로 웨이퍼 간 일치성을 함께 관리해야 한다.
같은 의 웨이퍼마다 평균값이 달라지는 정도를 비교한다. 관련 용어: / 로트 /
간 변동은 웨이퍼 사이 차이이고 는 한 웨이퍼 내부 위치차다.